[发明专利]一种基于量子碳膜的异质结光电二极管结构及制作方法

摘要

一种异质结光电二极管结构及制作方法，该二极管结构包括：由多层石墨烯层上下层叠形成的量子碳膜基板；位于所述量子碳膜基板的第一侧的图形化的绝缘层；位于所述绝缘层上的氮化锌层，所述氮化锌层在所述绝缘层的图形化开口处与所述量子碳膜基板相接触形成pn结；与所述氮化锌层相接触的第一电极；以及与所述量子碳膜基板的第二侧相接触的第二电极。不同的实施例中，绝缘层也可以省去。第二电极也可以与第一电极位于量子碳膜基板的同一侧。该二极管结构在光电转换效率上得到大幅提升，且光谱响应范围宽，其制作工艺也简单，易于量产。