[发明专利]纳米针尖结构、复合结构及其制备方法在审
| 申请号： | 202010189070.1 | 申请日： | 2020-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN111362225A | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 王晓东;马静;刘雯;马哲;宋培帅;赵永强;杨富华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | B81B1/00 | 分类号： | B81B1/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴梦圆 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种纳米针尖结构、复合结构及其制备方法，所述纳米针尖结构，包括衬底，在所述衬底表面阵列形成多个纳米针尖；其中，每个纳米针尖的顶部直径为10～20nm；所述纳米针尖的高度为200～350nm；相邻纳米针尖的间距为62.5～125nm，显著增加“热点”效应。所述纳米针尖结构的制备方法采用阳极氧化铝(AAO)模板和感应耦合等离子体(ICP)刻蚀，成本低廉，工艺简单，可以实现大规模制备。在此基础上制备的Ag颗粒/纳米针尖复合结构能够显著增加表面等离子体效应如光吸收、拉曼信号增强等。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 针尖 结构 复合 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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