[发明专利]多层铁电薄膜叠堆的爆炸功率源应用

摘要

本发明公开了多层铁电薄膜叠堆的爆炸功率源应用，属于功率源技术领域，利用Pb(Mg1/3Nb2/3)O3‑PbZrO3‑PbTiO3制备铁电薄膜单层，所述铁电薄膜单层上设置有叉指电极；将铁电薄膜单层进行叠堆，构成铁电多层薄膜叠堆样品，所述铁电多层薄膜叠堆样品的叠堆层数≥5层，铁电薄膜单层之间利用叉指电极并联连接；所述铁电薄膜单层的厚度≤100μm。本申请首次利用PMN‑PZT铁电薄膜的冲击放电特性，得到了脉冲大电流信号。发明人的这一发明对于铁电脉冲功率源的小型化发展，有着非常重要的意义。采用本申请的爆炸功率源应用，能够有效缩小铁电脉冲功率源的体积，具有显著的进步意义。实际测试结果表明：与现有块状陶瓷作为功率源相比，本申请爆炸功率源的体积能缩小至1/20左右。