[发明专利]可变式滤光件的制作方法在审

专利信息
申请号: 202010189720.2 申请日: 2020-03-18
公开(公告)号: CN111257984A 公开(公告)日: 2020-06-09
发明(设计)人: 林振庭 申请(专利权)人: 微士贸易有限公司
主分类号: G02B5/28 分类号: G02B5/28;C23C14/54;C23C14/04
代理公司: 珠海智专专利商标代理有限公司 44262 代理人: 林永协
地址: 中国香港九龙*** 国省代码: 香港;81
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摘要: 发明提供一种可变式滤光件的制作方法,包括提供一块具有矩形开口的掩膜;在掩膜的相对两侧分别设置基板以及滤光材料发射源;并且,驱动掩膜与基板中的至少一个,使掩膜与基板发生相对运动;在掩膜与基板发生相对运动的过程中,源自于滤光材料发射源的滤光材料穿过矩形开口并沉积基板的表面并形成滤光膜,沿掩膜与基板相对运动的方向,滤光膜具有多种厚度。本发明只需要使用一种结构的掩膜即可以满足多种不同类型的滤光件的制作,提高滤光件制作效率的同时还能够降低滤光件的制作成本。
搜索关键词: 可变 滤光 制作方法
【主权项】:
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