[发明专利]兼具光谱和成像功能的成像光谱芯片及其制备方法

摘要

本发明涉及兼具光谱和成像功能的成像光谱芯片及其制备方法，该芯片包括光电转换基底、滤光薄膜；其中，所述滤光薄膜为单层结构，其是由已知且透光率不同的N种材料通过逐一涂覆、刻蚀后拼接而成，滤光薄膜包括N个周期，每个周期包括T1、T2......Tn个单元，每个单元覆盖光电转换基底上的M个像素，其中M大于等于1，所有单元构成周期性结构，覆盖光电转换基底上的所有像素，与每个像素对应的滤光薄膜具有相同或者不同的光谱透过率。该芯片兼具光谱和较好的成像功能，即可以通过成像识别物体，又可以对物体的不同区域分别进行光谱分析，尤其是对于微小物体，可以克服微小物体在视场中占比小，难以拍摄的问题。