[发明专利]MOCVD尾管免拆清理装置在审
| 申请号： | 202010190858.4 | 申请日： | 2020-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN111318523A | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 刘银;南琦 | 申请（专利权）人： | 木昇半导体科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/045 | 分类号： | B08B9/045;B08B9/047 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 姚姣阳 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种MOCVD尾管免拆清理装置，包括前端清理组件及尾端连接组件两部分，前端清洁组件包括一根前端线缆，前端线缆的一侧端部固定设置有清扫器件、前端线缆的另一端与尾端线缆的端部相连接，前端清洁组件还包括固定设置于前端线缆外周侧、用于使装置整体在MOCVD尾管内部沿管路延伸方向活动的移动器件。本发明采用物理毛刷电动旋转清扫的方式完成了对长尾管型MOCVD尾管的清洁维护，装置整体可以直接伸入MOCVD尾管中，在进行周期性维护时无需再对管道进行频繁拆卸，避免了因管道内部高活性颗粒物接触空气而引发的爆燃事故，提高了维护的安全性。 | ||
| 搜索关键词： | mocvd 尾管免拆 清理 装置 | ||
【主权项】：
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