[发明专利]基于时间差分辨的晶粒双面完全等光程共焦成像检测方法在审
| 申请号： | 202010191734.8 | 申请日： | 2020-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN111157543A | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 廖廷俤;颜少彬;蔡植善 | 申请（专利权）人： | 泉州师范学院 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95 |
| 代理公司： | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人： | 林捷;蔡学俊 |
| 地址： | 362000 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开一种基于时间差分辨的晶粒双面完全等光程共焦成像检测方法，其特征在于：包括在光路方向上依次设置的CMOS或CCD相机、远心成像镜头、前置棱镜转像子系统、半导体晶粒和用于承置半导体晶粒的透明载物台，通过相机不同时间点独立拍摄的半导体晶粒相邻面的像，来实现对半导体晶粒相邻面的完全等光程共焦成像检测。本发明检测方法在不同时间点的两次拍摄实现双面完全等光程共焦成像检测，双面成像检测光路工作距可根据需求灵活选择，整体结构简单便于装配调试。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 时间差 分辨 晶粒 双面 完全 光程 成像 检测 方法 | ||
【主权项】：
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