[发明专利]一种SNSPD阵列与光波导阵列的耦合装置及方法有效
| 申请号： | 202010192524.0 | 申请日： | 2020-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN111443442B | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 张伟君;徐光照;李浩;尤立星;谢晓明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G02B6/43 | 分类号： | G02B6/43;G02B6/42 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;贾允 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请提供一种SNSPD阵列与光波导阵列的耦合装置及方法，该耦合装置包括金属底座、硅衬底层、DBR介质层和上表面刻蚀有SNSPD阵列的氮化铌层，光波导阵列和固定座，其中，单元光波导与单元SNSPD一一对应，固定座的一端与光波导阵列的侧表面连接另一端与金属底座的上表面连接。本申请相较于传统的单个SNSPD器件与单根光纤耦合的方法，本申请具有提高SNSPD集成度、拓展器件规模等优点，并且还有助于提高工作效率和实现SNSPD大批量生产，此外，相较于片上集成斜入射耦合或射倏逝波耦合方法，采用分离式垂直耦合的方法将SNSPD阵列与光波导阵列直接耦合，能够有效减少光路损耗，提高光耦合效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 snspd 阵列 波导 耦合 装置 方法 | ||
【主权项】：
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