[发明专利]一种高效收集EUV光的多层膜光学元件碳污染实验装置在审
| 申请号： | 202010193901.2 | 申请日： | 2020-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN111257232A | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 宋源;卢启鹏;龚学鹏;王依;彭忠琦;徐彬豪;赵晨行 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01 |
| 代理公司： | 长春众邦菁华知识产权代理有限公司 22214 | 代理人： | 张伟 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高效收集EUV光的多层膜光学元件碳污染实验装置，包括EUV光源、光源收集腔、污染腔、真空连接管道、光源照明光路、供气管路、样品台支架、Zr膜滤光片和真空泵组；EUV光源通过真空连接管道与光源收集腔连接，污染腔以部分嵌入的方式与光源收集腔固定连接，样品台支架置于污染腔内，供气管路与污染腔连通；EUV光源的出射光依次经过真空连接管道、多层膜主镜、多层膜次镜和Zr膜滤光片后聚焦至样品上。本发明简化了光路系统，大幅度缩减光路长度，从而减少收集腔背景环境气体对EUV光的吸收损耗，同时能够有效降低样品处光斑放大倍率，从而提高样品处光强，有效提高碳污染效率，降低实验时间和实验成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高效 收集 euv 多层 光学 元件 污染 实验 装置 | ||
【主权项】：
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