[发明专利]天线封装、天线封装系统及制造天线封装的方法在审
| 申请号： | 202010194655.2 | 申请日： | 2020-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN112582273A | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 郭丰维;廖文翔 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/48 | 分类号： | H01L21/48;H01L21/60;H01L21/56;H01L23/31;H01L23/498;H01L23/485;H01L23/66;H01Q1/22 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种天线封装、天线封装系统及制造天线封装的方法。制造天线封装的方法包括：在载体上沉积包括聚苯并二恶唑的绝缘层；在粘合层上形成包括聚亚酰胺的背侧层；在背侧层之上形成晶粒附接膜；在第二背侧层上形成一或多个中介层通孔壁结构及一或多个中介层通孔光栅结构；将诸如射频集成电路晶粒的晶粒置放在晶粒附接膜上；通过模塑料来嚢封晶粒、一或多个中介层通孔壁结构及一或多个中介层通孔光栅结构，以形成包括一或多个天线区域的天线封装；以及在嚢封封装体上形成重布层结构。重布层结构可包括耦接至晶粒的一或多个天线结构。一或多个天线结构中的每一者可定位在一或多个天线区域上方。 | ||
| 搜索关键词： | 天线 封装 系统 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
