[发明专利]一种力传感器

摘要

本发明实施例公开了一种力传感器，该力传感器包括：壳体，壳体上设置有开口；压缩结构，密封设置于壳体的开口处，压缩结构与壳体形成空腔；压力感测MEMS芯片，设置于空腔内；ASIC芯片，设置于空腔内，与压力感测MEMS芯片电连接；其中，压缩结构与空腔接触的内表面上设有波纹结构。由此，当压缩结构受到外力产生形变时，其内表面的纹波结构在外力的作用下产生较大的位移，使得空腔内的空气受到较大的压缩，从而在一定程度上提高力传感器的灵敏度，压缩后的空气施压到压力感测MEMS芯片表面，压力感测MEMS芯片将检测到的力转换为电信号输出到ASIC芯片，ASIC芯片将该电信号调理后输出。该力传感器能够满足新型智能终端产品的小型化设计和高灵敏度的结构设计要求。