[发明专利]液体靶装置在审
| 申请号： | 202010195674.7 | 申请日： | 2020-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN111724927A | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 鹈野浩行;越智重治;F·圭拉 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | G21G1/10 | 分类号： | G21G1/10 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 夏斌 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种液体靶装置，即使在靶箔破损时也可防止靶液体向装置外流出。该液体靶装置(1)具备：靶容纳部(23)，作为液体容纳部而容纳靶液体；射束通道(11)，使从粒子加速器(3)出射的带电粒子束(B)通过至液体容纳部；靶箔(33)，对射束通道(11)与液体容纳部之间进行划分；及真空箔(31)，对设置于射束通道(11)的上游侧的真空区域(A1)与射束通道(11)进行划分，在射束通道(11)上设置有在真空箔(31)侧供给冷却气体的第1气体室(R1)及在比第1气体室(R1)靠靶箔(33)侧供给冷却气体的第2气体室(R2)，第1气体室(R1)与所述第2气体室(R2)之间通过中间箔(32)被划分。 | ||
| 搜索关键词： | 液体 装置 | ||
【主权项】：
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