[发明专利]一种直接产生双路相干光的激光器在审
| 申请号： | 202010196435.3 | 申请日： | 2020-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN111313221A | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | 李永亮;王驰;杨超 | 申请（专利权）人： | 长春理工大学 |
| 主分类号： | H01S3/094 | 分类号： | H01S3/094;H01S3/105;H01S3/13 |
| 代理公司： | 北京市诚辉律师事务所 11430 | 代理人： | 范盈 |
| 地址： | 130022 *** | 国省代码： | 吉林;22 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请属于短脉冲激光技术领域，特别是涉及一种直接产生双路相干光的激光器。现有的多光束激光光刻装置存在器件过多，光能利用率低，干涉条纹光强分布不均匀等缺点。本申请提供了一种直接产生双路相干光的激光器，包括依次排列的第一激光振荡组件、电光调Q组件和第二激光振荡组件；所述第一激光振荡组件包括依次排列的第一达曼透射光栅、第一激光晶体激励构件和第一达曼反射光栅；所述第二激光振荡组件包括第二达曼反射光栅、第二激光晶体激励构件和第二达曼透射光栅；所述第一激光晶体激励构件包括第一泵浦光源和第一激光晶体，所述第二激光晶体激励构件包括第二泵浦光源和第二激光晶体。此双路光干涉效果好、工作效率高、可靠性高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 直接 产生 相干光 激光器 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长春理工大学，未经长春理工大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010196435.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
