[发明专利]一种双折射波导布拉格光栅反射器及其制备方法有效
| 申请号： | 202010198505.9 | 申请日： | 2020-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN111257996B | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 陈超;罗曦晨;秦莉;宁永强;王彪;王立军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B6/124 | 分类号： | G02B6/124;G02B6/136;G02B6/12 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王云晓 |
| 地址： | 130033 吉林省长春市*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种双折射波导布拉格光栅反射器，包括衬底；位于衬底表面的下包层；位于下包层背向衬底一侧表面的波导芯层；波导芯层背向下包层一侧表面刻蚀有多个凹槽以形成光栅，光栅的波矢方向平行于波导芯层的波导方向；位于波导芯层背向衬底一侧表面的上包层，上包层覆盖光栅。通过在波导芯层表面刻蚀出光栅可以改变波导芯层的形状对称性，从而提高双折射波导布拉格光栅反射器的形状双折射值；同时光栅可以使得波导芯层与上包层以及下包层之间存在强烈的各向异性应力，从而使得双折射波导布拉格光栅反射器具有较高的应力双折射值，使得双折射波导布拉格光栅反射器具有较高的双折射值。本发明还提供了一种制备方法，同样具有上述有益效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双折射 波导 布拉格 光栅 反射 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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