[发明专利]一种碳膜沉积装置有效
| 申请号： | 202010198904.5 | 申请日： | 2020-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN111364004B | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 程文雅 | 申请（专利权）人： | 珠海凯赛奥表面技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/32;C23C14/14 |
| 代理公司： | 北京名华博信知识产权代理有限公司 11453 | 代理人： | 李冬梅 |
| 地址： | 519001 广东省珠海市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种碳膜沉积装置，包括：真空腔室、设置于真空腔室顶部的抽真空装置、设置于真空腔室一侧的磁过滤装置，真空腔室与磁过滤装置相对的一侧设有进气口。磁过滤装置包括磁过滤弯管、与磁过滤弯管连通的磁过滤直管、设置在磁过滤弯管外侧的聚焦磁场、设置在磁过滤直管外侧高频磁场。磁过滤弯管与磁过滤直管以第一预定角度耦合；磁过滤直管与第一阳极筒连接，第一阳极筒外套设有第一阴极套；磁过滤弯管与第二阳极筒连接，第二阳极筒外套设有第二阴极套；第二阴极套内的第二阴极材料为碳。本发明的碳膜沉积装置的磁过滤直管与磁过滤弯管耦合，沉积的碳膜内应力小，几乎无碳颗粒，膜层硬度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 沉积 装置 | ||
【主权项】：
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