[发明专利]一种刀具涂层及其沉积方法有效
| 申请号： | 202010198939.9 | 申请日： | 2020-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN111621744B | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 廖斌;欧阳潇;欧阳晓平;罗军;陈琳;庞盼;张旭;吴先映;英敏菊 | 申请（专利权）人： | 北京师范大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/16;C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京名华博信知识产权代理有限公司 11453 | 代理人： | 李冬梅 |
| 地址： | 100875 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种刀具涂层及其沉积方法，其中，刀具涂层的沉积方法包括以下步骤：在惰性气体中，在刀具基体上沉积金属离子形成金属过渡层；在金属过渡层上依次沉积金属离子、金属碳化物、碳离子形成单元涂层；循环步骤2S若干次；在所述单元循环涂层表层沉积SP3键渐变的碳离子形成渐变碳膜层。本发明对在微型刀具上沉积超厚碳膜的沉积方法进行优化，在刀具表面沉积金属过渡层、单元循环沉积、sp3键不断升高的渐变碳膜层，涂层与刀具结合力大于30N，膜层厚度可高至15微米，硬度大于50Gpa。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 刀具 涂层 及其 沉积 方法 | ||
【主权项】：
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