[发明专利]一种抛光垫的修整轮及修整装置在审
| 申请号： | 202010199794.4 | 申请日： | 2020-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN111318965A | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 赵晟佑 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/14 | 分类号： | B24B53/14;B24B53/12;B24B47/12 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;胡影 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供一种抛光垫的修整轮及修整装置，所述修整轮包括：圆形基板，所述基板上开设有至少一个安装孔；固定于所述安装孔内的修整环，所述修整环的修整面间隔设有若干螺旋条纹。根据本发明实施例的修整轮，通过在基板上安装固定修整环，而修整环的修整面上间隔设有用于研磨修整抛光垫的螺旋条纹，修整过程中能够快速修整抛光垫不平整的部位，并及时带走研磨产生的粉末，从而有效改善抛光垫的平坦度，确保后续硅片抛光的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 修整 装置 | ||
【主权项】：
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