[发明专利]一种清洗装置在审
| 申请号： | 202010201126.0 | 申请日： | 2020-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN111318503A | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 李在桓;史进 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B13/00;F26B21/00;F26B23/00;F26B23/06 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 胡影;李红标 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供一种清洗装置，包括：清洗槽，清洗槽内限定有腔室；支撑杆，支撑杆设在腔室中；托盘，托盘设在支撑杆上以用于承载待清洗的盒体；供应管，供应管上设有喷嘴以清洗盒体；收集器，收集器设在托盘的下方以收集从托盘上流出的清洗液；液体粒子计数器，液体粒子计数器的进口与收集器的出液口连通以检测流入液体粒子计数器的清洗液中的粒子含量。在使用过程中，将盒体置于托盘上，通过喷嘴清洗盒体，清洗盒体后的清洗液从托盘上流下后，通过液体粒子计数器检测清洗盒体后的清洗液中的微粒，进而判断盒体是否已经清洗彻底，能够准确地判断盒体内是否有污染物微粒，避免对盒体的清洗不彻底，避免运输硅片时影响硅片的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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