[发明专利]一种平面零件全口径确定性抛光的摇臂式抛光装置和方法有效

专利信息
申请号: 202010202480.5 申请日: 2020-03-20
公开(公告)号: CN111266937B 公开(公告)日: 2021-09-10
发明(设计)人: 周平;耿志超;闫英;王林;王凯;郭东明 申请(专利权)人: 大连理工大学
主分类号: B24B1/00 分类号: B24B1/00;B24B29/02;B24B41/04;B24B49/12;B24B55/06;B24B53/12
代理公司: 大连东方专利代理有限责任公司 21212 代理人: 李洪福
地址: 116024 辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 发明公开了一种平面零件全口径确定性抛光的摇臂式抛光装置和方法,所述装置包括控制系统、基座、升降板、抛光模块和测量模块;抛光模块和测量模块均位于基座上;升降板位于抛光模块和测量模块之间;抛光模块包括摇臂机构、抛光垫表面修整机构、抛光垫面形测量装置和环形抛光工具盘机构;测量模块包括平面零件面形自动化测量装置和机械臂机构。本发明充分考虑了平面零件的具体面形,通过控制平面零件表面材料去除率分布函数,使平面零件表面材料去除率分布函数和平面零件面形成归一化后的镜像对称关系,实现平面零件的确定性抛光,保证了平面零件面形在抛光过程中的高效收敛。本发明采用低成本的作业方式完成高精度的抛光过程,降低了设备成本。
搜索关键词: 一种 平面 零件 口径 确定性 抛光 摇臂 装置 方法
【主权项】:
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