[发明专利]一种基于薄膜热电器件供电的压力传感系统及其制备方法有效
| 申请号： | 202010202505.1 | 申请日： | 2020-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN111392690B | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 祝薇;王亚玲;邓元;胡少雄 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学杭州创新研究院 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B7/00;B81B7/02;H10N10/17;A61B5/024;G01L1/00 |
| 代理公司： | 北京细软智谷知识产权代理有限责任公司 11471 | 代理人： | 刘静培 |
| 地址： | 310000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于薄膜热电器件供电的压力传感系统及其制备方法，首先利用磁控溅射技术制备薄膜热电器件，通过对薄膜热电器件热端封装高导热率的导热复合材料，冷端引入水凝胶作为散热器，当薄膜热电器件贴附热源进行发电时，可实现与环境之间大温差的建立；通过激光雕刻技术控制有机高分子薄膜材料微结构尺寸，采用磁控溅射技术控制Ag/Ti导电薄膜的厚度进而调控导电薄膜材料的电阻，实现高灵敏低工作电流压力传感器的组装；最后将薄膜热电器件与压力传感器进行集成后，利用具有高输出电压(15.8mV)的柔性薄膜热电器件贴于人体皮肤进行发电，并供电压力传感器，得到自供电的压力传感系统，并可用于人体脉搏的实时监测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 薄膜 热电器件 供电 压力 传感 系统 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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