[发明专利]提高研磨盘加工能力的方法在审
| 申请号： | 202010207755.4 | 申请日： | 2020-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN113427410A | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | 邓三军 | 申请（专利权）人： | 东莞新科技术研究开发有限公司 |
| 主分类号： | B24D7/06 | 分类号： | B24D7/06;B24D18/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫 |
| 地址： | 523087 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体技术领域，公开了一种提高研磨盘加工能力的方法，首先在研磨盘的一面上加工凹槽，再将所述凹槽的边缘进行锋利度修整，以防止后续研磨过程中对半导体造成伤害，然后将金刚石粉与研磨油混合，并通过碾压混合后的金刚石粉与研磨油，使其平铺在所述研磨盘设有所述凹槽的一面上，并在使用研磨盘进行研磨前将研磨盘进行预热，使得研磨盘的表层变得坚硬，并且金刚石牢固嵌入研磨盘的表面，从而提高研磨盘加工能力，有利于延长研磨盘的寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 提高 研磨 加工 能力 方法 | ||
【主权项】：
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