[发明专利]薄膜晶体管及其制造方法以及显示装置在审
申请号: | 202010207802.5 | 申请日: | 2020-03-23 |
公开(公告)号: | CN111987168A | 公开(公告)日: | 2020-11-24 |
发明(设计)人: | 大田裕之 | 申请(专利权)人: | 堺显示器制品株式会社 |
主分类号: | H01L29/786 | 分类号: | H01L29/786;H01L29/06;H01L29/10;H01L21/34;H01L27/12;H01L27/15;H01L27/32;G02F1/1362;G02F1/1368 |
代理公司: | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人: | 王娟 |
地址: | 日本国大*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种薄膜晶体管及其制造方法以及显示装置,其中,薄膜晶体管包括:具有第一区域、第二区域和沟道区域的氧化物半导体层;以及栅极电极,该栅极电极隔着栅极绝缘层而重叠地设置在沟道区域上,并且,栅极电极不与第一和第二区域重叠;电连接到第一区域的源极电极;以及电连接到第二区域的漏极电极。氧化物半导体层中的沟道区域比第一区域和第二区域厚,氧化物半导体层包含下层和配置于下层的一部分上的上层。沟道区域包含上层和下层,第一区域和第二区域均包含下层且不包含上层。 | ||
搜索关键词: | 薄膜晶体管 及其 制造 方法 以及 显示装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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