[发明专利]基于波长移相干涉的光热表面变形检测标定装置及方法

摘要

本发明公开了一种基于波长移相干涉的光热表面变形检测标定装置及方法，光热表面变形检测标定装置包括有分别朝向被测样品表面的泵浦光源、探测光源、光电探测器和波长可调谐光源，波长可调谐光源和被测样品之间顺次设置有可调谐光源分束装置、可调谐光源聚焦装置、光束准直装置和参考镜，干涉光聚焦装置朝向可调谐光源分束装置，从参考镜表面和被测样品表面反射回去的光发生干涉，干涉光依次通过光束准直装置、可调谐光源聚焦装置、可调谐光源分束装置、干涉光聚焦装置后进入干涉光强探测装置。本发明把波长移相干涉方法和光诱导表面热变形方法相结合，实现材料由于吸收光能量所引起的表面热变形量的定量检测标定，且测量过程简单快速，易于推广。