[发明专利]蚀刻螯合剂及其制备方法与蚀刻液组合物有效
| 申请号： | 202010209957.2 | 申请日： | 2020-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN111349938B | 公开（公告）日： | 2021-04-27 |
| 发明（设计）人： | 吴豪旭 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 杨艇要 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蚀刻螯合剂及其制备方法与蚀刻液组合物，所述蚀刻螯合剂包括纤维素交联聚合物，所述纤维素交联聚合物由羧甲基纤维素与胺类化合物交联聚合而得。所述蚀刻螯合剂中含有大量的羧基与胺基，与铜离子能够发生较强的螯合作用，并形成沉淀将铜离子从溶液中脱离出来，因此，使用加入此蚀刻螯合剂的蚀刻液进行含铜膜层蚀刻时，可有效抑制蚀刻液中铜离子浓度的升高。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 螯合剂 及其 制备 方法 组合 | ||
【主权项】：
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