[发明专利]基于硅波导耦合特性的悬臂梁加速度检测计及系统

摘要

本发明涉及基于硅波导耦合特性的悬臂梁加速度检测计及系统，主要涉及加速度测量领域。本申请的波导为“U”形波导，在该“U”形波导的底边中，光以表面波的形式耦合进谐振腔，该“U”形波导的底边满足谐振条件的光在谐振腔内发生谐振。当系统受外力作用时，在加速度的作用下，第一悬臂梁和第二悬臂梁受惯性力的作用发生形变，使得该“U”形波导的底边中的谐振腔产生微小的变形，进而使“U”形波导的有效折射率改变，导致“U”形波导的谐振峰发生偏移，通过测量谐振点产生的偏移量，就可以标定相应的加速度值，并且由于谐振腔对第一悬臂梁和第二悬臂梁的微弱形变非常敏感，所以可用于制作高灵敏度、高分辨率的加速度计。