[发明专利]一种增强型导模共振光纤传感器的制备方法有效
| 申请号： | 202010211865.8 | 申请日： | 2020-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN111307742B | 公开（公告）日： | 2023-01-17 |
| 发明（设计）人： | 姚一村;张丽强;解艳茹;陈南光;田振;纪红柱;王宗良;任世杰 | 申请（专利权）人： | 聊城大学 |
| 主分类号： | G01N21/31 | 分类号： | G01N21/31;G01D5/26;G02B6/02 |
| 代理公司： | 青岛致嘉知识产权代理事务所(普通合伙) 37236 | 代理人： | 高维波 |
| 地址： | 252059 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种增强型导模共振光纤传感器的制备方法，包括如下步骤：步骤A，在单模光纤上切割出一个与光纤轴向呈90°垂直的端面，并对所述端面进行打磨抛光；步骤B，利用溅射或化学气相沉积方法在所述端面上生长一层高折射率均匀薄膜，作为波导层；步骤C，利用光刻加刻蚀方法在波导层的表面制备光栅结构；所述光栅结构的区域尺寸不小于20×20微米；步骤D，利用聚焦离子束系统在光栅区两个相对位置分别刻蚀一个沟槽；步骤E，利用聚焦离子束系统在两个沟槽的内侧壁上沉积一层约300nm厚度的贵金属薄膜。该方案可以有效提高光纤RWG结构的共振信号，提高信噪比，从而可以达到实用化要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 增强 型导模 共振 光纤 传感器 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于聊城大学，未经聊城大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010211865.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
