[发明专利]一种用于磁环境快速高精度调节微小气氛流量的方法在审
| 申请号： | 202010211993.2 | 申请日： | 2020-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN111221358A | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 徐志华;郭豪杰;杨捷;张斌斌 | 申请（专利权）人： | 杭州盘古自动化系统有限公司 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06;G01N25/00 |
| 代理公司： | 杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213 | 代理人： | 孙孟辉 |
| 地址： | 310000 *** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于磁环境快速高精度调节微小气氛流量的方法，首先通过流量传感器和压力传感器测量微小气氛流量和气氛管路压力，经传感器后变成电信号，由测量电路放大和采样处理，然后通过控制算法模块计算出输出信号，最后输出信号通过输出电路控制气氛调节阀，将气氛流量快速高精度调节仪器的目标流量。本发明的用于磁环境快速高精度调节微小气氛量的方法具有精度高、分辨率高、响应迅速、稳定性好、不受强磁场影响、抗扰动能力强的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 环境 快速 高精度 调节 微小 气氛 流量 方法 | ||
【主权项】：
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