[发明专利]定位装置、以及划线装置在审
| 申请号： | 202010213746.6 | 申请日： | 2020-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN111823426A | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 西尾仁孝 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D7/04 | 分类号： | B28D7/04;B28D7/00;B28D1/22 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 张晶;谢顺星 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 定位装置(1)具备：保持基板(S)的基板保持工作台(11)、第一棒状部件(12)、第二棒状部件(13)、第一轴承部件(11a)、第二轴承部件(11b)、第一驱动机构(14)、第二驱动机构(15)。第一轴承部件在第一棒状部件与第二棒状部件交叉的位置固定于基板保持工作台，并在第一棒状部件的表面上滑动。第二轴承部件在第一棒状部件与第二棒状部件交叉的位置固定于基板保持工作台，并在第二棒状部件的表面上滑动。第一驱动机构使第一棒状部件的端部独立地沿Y方向移动。第二驱动机构使第二棒状部件的端部独立地沿X方向移动。在各驱动机构上设置有使第一棒状部件及第二棒状部件绕Z轴转动的转动机构(25d)。 | ||
| 搜索关键词： | 定位 装置 以及 划线 | ||
【主权项】：
暂无信息
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