[发明专利]一种蓝宝石晶体生长用坩埚固定及坩埚盖自支撑结构在审
申请号: | 202010214761.2 | 申请日: | 2020-03-24 |
公开(公告)号: | CN111394785A | 公开(公告)日: | 2020-07-10 |
发明(设计)人: | 左洪波;杨鑫宏;李铁;阎哲华 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司 |
主分类号: | C30B17/00 | 分类号: | C30B17/00;C30B29/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 150001 黑龙江*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | 本发明涉及一种蓝宝石晶体生长用坩埚固定及坩埚盖自支撑结构。该结构包括上隔热屏、坩埚盖、坩埚盖支撑杆、坩埚、坩埚固定杆、驱动电机、发热体、钨盘和钨柱。坩埚固定杆和坩埚盖支撑杆均为钨棒加工而成,设置在坩埚周围。该结构通过驱动电机控制坩埚固定杆能精确调节坩埚冷心位置,在晶体生长过程中能够固定坩埚位置,避免坩埚偏移。坩埚盖支撑杆在坩埚固定杆上方,起到支撑坩埚盖的作用。本发明结构能进一步提高热场稳定性,采用坩埚盖自支撑结构能够延长坩埚使用寿命,从而进一步提升产品良率、降低产品成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 蓝宝石 晶体生长 坩埚 固定 支撑 结构 | ||
【主权项】:
暂无信息
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