[发明专利]一种上电极设备以及等离子体处理装置在审
| 申请号： | 202010215168.X | 申请日： | 2020-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN111370287A | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 郑亮;刘青松;豆海清;卢刚;张光轩;曾最新 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 刘鹤;张颖玲 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供了一种上电极设备，所述上电极设备应用于等离子体处理装置中，所述上电极设备用于对反应气体进行加压，以将所述反应气体激发成等离子态并作用于待处理晶圆上；所述上电极设备包括：第一部分，所述第一部分为所述上电极设备的中心部分；其中，所述第一部分包括面向所述待处理晶圆凸出的第一表面区域，所述第一表面区域在第一方向上的宽度大于第二方向上的宽度，所述第一方向和所述第二方向为沿所述上电极设备平面方向延伸的两彼此垂直的方向。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电极 设备 以及 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
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