[发明专利]一种薄膜器件在审
申请号: | 202010216011.9 | 申请日: | 2020-03-25 |
公开(公告)号: | CN111393036A | 公开(公告)日: | 2020-07-10 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 四川猛犸半导体科技有限公司 |
主分类号: | C03C17/36 | 分类号: | C03C17/36;H01L31/0216 |
代理公司: | 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218 | 代理人: | 方惠春 |
地址: | 644000 四川省宜宾市临港经开*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了一种薄膜器件,包括依次层叠的基板、膜层组件、顶层电介质膜层和保护膜层,膜层组件包括沿基板向外依次层叠的电介质膜层、银膜层和牺牲膜层,或电介质膜层、牺牲膜层和银膜层,膜层组件还包括AgMg膜层和锌锡镁氧化物膜层,AgMg膜层和锌锡镁氧化物膜层层叠在银膜层与牺牲膜层之间或银膜层与电介质膜层之间;或AgMg膜层和锌锡镁氧化物膜层层叠在银膜层与牺牲膜层之间,同时AgMg膜层和/或锌锡镁氧化物膜层层叠在银膜层与电介质膜层之间,AgMg膜层中Mg的含量≤97at%。本发明可以提高膜系在高温热处理的稳定性,又可提高该薄膜器件的化学稳定性和改善其机械性能,且具有高的可见光透过率、低的电阻。 | ||
搜索关键词: | 一种 薄膜 器件 | ||
【主权项】:
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