[发明专利]光学装置、曝光装置以及物品制造方法有效
| 申请号： | 202010216319.3 | 申请日： | 2020-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN111736298B | 公开（公告）日： | 2023-01-13 |
| 发明（设计）人： | 辻穣 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G02B7/182 | 分类号： | G02B7/182;G02B7/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 程晨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及光学装置、曝光装置以及物品制造方法。光学装置具备：光学零件；支撑机构，具有支撑所述光学零件的支撑部及限制所述光学零件在第1方向上的位置的位置限制部；以及操作机构，用于对所述光学零件在与所述第1方向不同的第2方向上施加力，操作所述光学零件。所述操作机构包括：接触部，与所述光学零件接触；操作部，使所述接触部在所述第2方向上移动；以及连结部，连结所述接触部和所述操作部。所述连结部构成为能够关于所述第1方向使所述操作部和所述接触部相对地移动。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 装置 曝光 以及 物品 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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