[发明专利]一种能自动清洗碳化硅长晶炉积炭的装置在审
| 申请号： | 202010217938.4 | 申请日： | 2020-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN111288812A | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 赵丽丽;谭希滨 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | F27D25/00 | 分类号： | F27D25/00;C30B35/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 | 代理人： | 桑林艳 |
| 地址： | 150000 黑龙江省哈尔滨市南岗区*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种能自动清洗碳化硅长晶炉积炭的装置，属于碳化硅长晶炉技术领域。本发明为了解决目前在清理长晶炉石英管管壁时存在的问题。本发明包括升降机构、升降机构托盘架、托盘、支架、旋转电机、联轴器、夹紧机构和刮板，所述升降机构托盘架安装在升降机构上，托盘与升降机构托盘架连接，托盘上安装有支架，所述支架为圆柱空心体，旋转电机安装在支架的腔体内，旋转电机的驱动端与联轴器连接，联轴器的另一端与夹紧机构连接，夹紧机构上安装有刮板，刮板与石英管的内壁贴合。本发明结构简单，便于拆卸，取代了传统人工清理石英管内壁容易对工作人员造成的身体伤害，和人工清理石英管内壁相比清理的更加干净，且适合大规模的生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 清洗 碳化硅 长晶炉积炭 装置 | ||
【主权项】：
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