[发明专利]用于夹杂物分析的方法和系统在审
| 申请号： | 202010218468.3 | 申请日： | 2020-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN111829992A | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | J-M.博伦;C.G.范比克 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | G01N21/63 | 分类号： | G01N21/63;G01N21/67;G01N21/72;G01N23/04;G01N23/2252;G01N23/2251;G01N23/2206 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张凌苗;申屠伟进 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用于夹杂物分析的方法和系统。提供了用于分析样品夹杂物的各种方法和系统。作为一个实例，可以基于由光发射光谱（OES）系统和带能量色散X射线光谱法的带电粒子显微镜（CPM/EDX）系统两者确定的第一样品的夹杂物特性来生成校正因子。可以利用所述校正因子来校准所述OES系统。可以使用经过校准的OES系统确定不同的第二样品的夹杂物特性。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 夹杂 分析 方法 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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