[发明专利]膜结构体在审
| 申请号： | 202010219883.0 | 申请日： | 2020-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN111799363A | 公开（公告）日： | 2020-10-20 |
| 发明（设计）人： | 木岛健;小西晃雄 | 申请（专利权）人： | 前进材料科技株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/083 | 分类号： | H01L41/083;H01L41/187 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴克鹏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种膜结构体，能够使含有锆钛酸铅的压电膜的压电特性提高。膜结构体(構造体)具有：基体(11)；形成于基体(11)上，并且含有锆钛酸铅的下部压电膜(21)；形成于下部压电膜(21)上，并且含有锆钛酸铅的上部压电膜(22)。基体(11)具有压缩应力，下部压电膜(21)和上部压电膜(22)均具有拉伸应力，下部压电膜(21)的弹性常数大于上部压电膜(22)的弹性常数。 | ||
| 搜索关键词： | 膜结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
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