[发明专利]一种高亮度半导体发光二极管芯片及其制作方法在审
申请号: | 202010222244.X | 申请日: | 2020-03-26 |
公开(公告)号: | CN111244238A | 公开(公告)日: | 2020-06-05 |
发明(设计)人: | 汪延明;季辉 | 申请(专利权)人: | 湘能华磊光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/10 | 分类号: | H01L33/10;H01L33/22;H01L33/12;H01L33/00 |
代理公司: | 长沙七源专利代理事务所(普通合伙) 43214 | 代理人: | 周晓艳;张勇 |
地址: | 423038 湖*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明提供一种高亮度半导体发光二极管芯片,包括图形化蓝宝石衬底,所述图形化蓝宝石衬底包括上表面带有凸起图文的蓝宝石基底,所述凸起图文上设有DBR图层。本发明的芯片,蓝宝石衬底上设置凸起图文,利于磊晶生长时成核,提高晶体质量和抗ESD能力;凸起图文上有DBR图层,提高衬底对有源区发出的光的反射率,从而提高发光强度。本发明还公开一种上述芯片的制作方法,采用独特的图形化蓝宝石衬底制作工艺,获得高质量的图形化蓝宝石衬底,再结合缓冲层、n型氮化物半导体层、电流扩展层、有源层、p型氮化物半导体层、电流阻挡层和透明导电层的沉积及N型电极和P型电极的制作,获得发光亮度高、抗静电能力和抗反向电压性能好的LED产品。 | ||
搜索关键词: | 一种 亮度 半导体 发光二极管 芯片 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
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