[发明专利]一种反射镜和P电极相互独立的AlGaInP LED芯片及制备方法在审
申请号: | 202010222574.9 | 申请日: | 2020-03-26 |
公开(公告)号: | CN111200045A | 公开(公告)日: | 2020-05-26 |
发明(设计)人: | 吴小明;陈芳;陶喜霞;王光绪;李树强;江风益 | 申请(专利权)人: | 南昌大学;南昌硅基半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01L33/32 | 分类号: | H01L33/32;H01L33/46;H01L33/38;H01L33/00 |
代理公司: | 江西省专利事务所 36100 | 代理人: | 张文 |
地址: | 330031 江西省*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本发明公开了一种反射镜和P电极相互独立的AlGaInP LED芯片及制备方法,所述芯片从下至上依次包括:基板、键合金属层、P电极金属层、反射金属层、低折射率介质层、P型掺杂层、发光层、具有粗化表面的粗化层、N型掺杂层、N电极,所述反射金属层与所述低折射率介质层构成全方位反射镜,反射金属层与低折射率介质层上设有若干P电极孔,P电极金属层通过P电极孔与P型掺杂层接触;N电极由焊盘和若干扩展电极线组成,P电极孔位于相邻的扩展电极线之间。本发明提出的反射镜和P电极相互独立的AlGaInP LED芯片,可以同时兼顾高光反射率和低欧姆接触,最终可以提高AlGaInP LED芯片的电光转换效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 反射 电极 相互 独立 algainp led 芯片 制备 方法 | ||
【主权项】:
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