[发明专利]薄膜体声波谐振器在审
| 申请号： | 202010223938.5 | 申请日： | 2020-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN111342803A | 公开（公告）日： | 2020-06-26 |
| 发明（设计）人： | 欧文 | 申请（专利权）人： | 江苏物联网研究发展中心 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/02 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 | 代理人： | 殷红梅;屠志力 |
| 地址： | 214135 江苏省无锡市新吴*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种薄膜体声波谐振器，包括：衬底、阻挡层、基底层、诱导层、第一电极层、压电层、第二电极层、空气隙；所述阻挡层形成于衬底的一个表面，衬底的该表面设有下凹腔；基底层设置在衬底的所述一个表面，基底层下的衬底下凹腔形成空气隙；诱导层生长在基底层上；在诱导层上自下往上依次生长有第二电极层、压电层和第一电极层。第一电极层和第二电极层的材料选取为Mo。压电层的材料选取为AlN，厚度选取为谐振频率对应声波波长的二分之一。本发明能够提高结构的机械强度和功率容量，满足更高频率的应用。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 声波 谐振器 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏物联网研究发展中心，未经江苏物联网研究发展中心许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010223938.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
