[发明专利]一种宽光谱响应的雪崩光电二极管及其制作方法

摘要

本发明公开了一种宽光谱响应的雪崩光电二极管，包括第一电极、衬底、底部外延层、窗口层和第二电极，所述第一电极设于所述衬底下方，所述底部外延层和窗口层依次设于所述衬底上，其中所述窗口层形成有扩散区，且窗口层于扩散区的下方形成雪崩区；所述扩散区中部设有凹槽，所述第二电极设于所述扩散区位于凹槽外侧的上方。本发明还公开了其制作方法。本发明通过在光敏区设置凹槽，减少窗口层的厚度，减少了上述材料对特定波段光的吸收，从而使入射光更有效的被吸收层吸收，扩大了雪崩光电二极管的光谱响应范围。