[发明专利]一种瞬稳态激光诱导击穿光谱检测系统有效
申请号: | 202010225376.8 | 申请日: | 2020-03-26 |
公开(公告)号: | CN111289497B | 公开(公告)日: | 2023-06-30 |
发明(设计)人: | 赵天卓;肖红;樊仲维;聂树真;李欣;钟奇秀;赵晟海;黄文迪 | 申请(专利权)人: | 中国科学院空天信息创新研究院 |
主分类号: | G01N21/71 | 分类号: | G01N21/71 |
代理公司: | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人: | 郑立明;陈亮 |
地址: | 100080 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种瞬稳态激光诱导击穿光谱检测系统,包括激光光源模块、激光聚焦模块、等离子体辐射收集模块、等离子体分光及探测模块、控制电路及数据处理模块,其中:激光光源模块产生脉冲宽度微秒至秒级的激光束,激光聚焦模块将激光光源模块发射的诱导激励的激光束汇聚到被测样品的表面;被测样品产生宽光谱范围诱导等离子体散射光信号,等离子体辐射收集模块采集该光信号后,将该光信号汇聚到等离子体分光及探测模块中;等离子体分光及探测模块对汇聚来的光信号进行光谱分光,并探测获得不同波长的光谱强度数据。上述系统能在瞬间实现等离子体信号的稳定发射并同时实施光谱信号采集,从而获取稳定的等离子体信号。 | ||
搜索关键词: | 一种 稳态 激光 诱导 击穿 光谱 检测 系统 | ||
【主权项】:
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