[发明专利]用于将环氧树脂中的金属杂质除去的金属吸附剂及金属除去方法在审
| 申请号： | 202010226786.4 | 申请日： | 2020-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN111744462A | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | 谷口博昭;窪寺俊;孙军 | 申请（专利权）人： | 日产化学株式会社 |
| 主分类号： | B01J20/26 | 分类号： | B01J20/26;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 马妮楠;段承恩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及用于将环氧树脂中的金属杂质除去的金属吸附剂以及金属除去方法。本发明在不使作为半导体制造工序所使用的抗蚀剂下层膜形成用组合物而使用的环氧树脂吸附、改性的情况下，将金属杂质从溶解了被精制材料的组合物中除去，从而获得被高纯度化了的精制材料组合物。一种金属吸附剂，是包含具有凝胶型载体的含磺酰基阳离子性离子交换树脂(A)和螯合剂(B)的、用于将溶液中的金属杂质除去的金属吸附剂，该螯合剂(B)由包含硫脲基或硫脲 |
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| 搜索关键词： | 用于 环氧树脂 中的 金属 杂质 除去 吸附剂 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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