[发明专利]含铜酸性蚀刻液循环再生的方法在审
| 申请号： | 202010228135.9 | 申请日： | 2020-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN111270239A | 公开（公告）日： | 2020-06-12 |
| 发明（设计）人： | 张月红 | 申请（专利权）人： | TCL华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/46 | 分类号： | C23F1/46;C23F1/18 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 杨艇要 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种含铜酸性蚀刻液循环再生的方法，通过将已经达到寿命的所述第一含铜酸性蚀刻溶液、所述第一化合物按照一定的比例混合、搅拌、过滤，得到所述第二含铜酸性蚀刻溶液和吸附有铜离子的所述第一化合物；再分别在吸附有铜离子的所述第一化合物中按比例添加一定量的水和乙二胺四乙酸二钠得到所述第一化合物和含有铜离子的溶液；最后再在所述第二含铜酸性蚀刻溶液中按比例加入一定量的添加剂，获得可重新使用的所述第一含铜酸性蚀刻溶液；有益效果：投入较小的成本，以使得所述第一化合物与所述第一含铜酸性蚀刻溶液循环再生的方法，不仅降本增效，而且使得更有利于环保。 | ||
| 搜索关键词： | 酸性 蚀刻 循环 再生 方法 | ||
【主权项】：
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