[发明专利]阵列基板以及显示面板有效

专利信息
申请号: 202010228311.9 申请日: 2020-03-27
公开(公告)号: CN111415946B 公开(公告)日: 2022-08-05
发明(设计)人: 杨薇薇 申请(专利权)人: 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;H01L27/32
代理公司: 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 代理人: 杨艇要
地址: 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明提供一种阵列基板以及显示面板,该阵列基板包括衬底、第一栅极层、栅极绝缘层、第二栅极层,其中:所述第一栅极层图案化形成扫描信号线和第一电极板,所述第二栅极图案化形成复位走线和第二电极板,所述栅极绝缘层由一层或至少两层的无机层沉积而成,所述栅极层在所述第一电极板的对应位置设置有凹槽,所述第二电极板设置于所述凹槽中;由于无机层干蚀刻选择比较大,所述栅极绝缘层能在覆盖第一栅极层时实现较好的平坦化,从而缓解第二栅极层在刻蚀时在第一栅极层的边缘存在金属残留的问题,同时由于栅极绝缘层设置有凹槽,所述第二电极板设置在凹槽中,可以保证第一栅极和第二栅极间的电容不变。
搜索关键词: 阵列 以及 显示 面板
【主权项】:
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