[发明专利]可调高度真空多层蒸发装置及蒸发方法在审
申请号: | 202010231213.0 | 申请日: | 2020-03-27 |
公开(公告)号: | CN113444893A | 公开(公告)日: | 2021-09-28 |
发明(设计)人: | 金策;王晓鹏;刘加东;路经纬 | 申请(专利权)人: | 核工业理化工程研究院 |
主分类号: | C22B26/10 | 分类号: | C22B26/10;C22B9/02;C22B9/04 |
代理公司: | 天津创智天诚知识产权代理事务所(普通合伙) 12214 | 代理人: | 李薇 |
地址: | 300180 *** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明提供一种可调高度真空多层蒸发装置及蒸发提纯方法,所述蒸发装置包括内部形成蒸发腔体的外壳以及设置于所述蒸发腔体内的加热坩埚和冷凝塔盘,其中:所述外壳上形成有连接口以连接真空保持系统和配气系统;所述加热坩埚的顶部形成有准直孔供碱金属蒸气穿出,所述冷凝塔盘位于所述加热坩埚正上方,所述冷凝塔盘由多个冷凝盘搭接而成,每一冷凝盘的中心形成有供碱金属蒸气通过的蒸发准直孔。本发明适用于多种碱金属的提纯,且提高了蒸发提纯的效率。 | ||
搜索关键词: | 可调 高度 真空 多层 蒸发 装置 方法 | ||
【主权项】:
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