[发明专利]泵和冷却装置在审
| 申请号： | 202010231371.6 | 申请日： | 2020-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN113446198A | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 顾崇诚 | 申请（专利权）人： | 信强(宁波)半导体设备制造有限公司 |
| 主分类号： | F04B39/06 | 分类号： | F04B39/06;F04B39/14;F04B37/14;F04B39/12 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 骆希聪 |
| 地址： | 315480 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种冷却装置，用于容纳一冷却液并冷却一泵，泵包括一泵上机、一泵下机和一抽气管，泵上机借由抽气管连接泵下机。冷却装置包括一主体、一连接孔和一冷却液通道。主体位于泵上机和泵下机之间。连接孔位于主体，且抽气管位于连接孔内。冷却液通道位于主体并容纳冷却液，冷却液通道内的冷却液冷却泵上机和泵下机。 | ||
| 搜索关键词： | 冷却 装置 | ||
【主权项】：
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