[发明专利]一种制备聚对二甲苯薄膜的装置及方法

摘要

本发明涉及一种制备聚对二甲苯薄膜的装置及方法。所述装置包括支架台及置于支架台台面用于沉积聚对二甲苯薄膜的基片，还包括扣于所述基片上方的多孔导流罩；所述多孔导流罩与所述支架台台面之间形成可供气体流通的中空腔体；本发明通过设置多孔导流罩，使得聚对二甲苯薄膜能够致密性生长，有效解决了现有技术中聚对二甲苯薄膜表面粗糙、不平整、坏点率高、致密性差等问题。所述制备聚对二甲苯薄膜的方法，利用所述装置进行化学气相沉积。本发明通过对装置以及工艺的优化，提高了成膜质量，降低了聚对二甲苯薄膜的坏点率，从而减少了柔性超材料基底的自身损耗，有效提高了超材料的性能。