[发明专利]一种应用于硅片溅射台的分离装置及分离方法

摘要

本发明公开了一种应用于硅片溅射台的分离装置，涉及太阳能电池制造技术领域，包括：基座、第一升降结构、托盘、调整机构、驱动齿轮、驱动装置、分离机构。调整机构具有：滚齿轮、传动齿轮、滚珠丝杆、套座、调节件。本发明通过驱动齿轮的连接齿在旋转方向驱动调整机构的滚齿轮，实现同步驱动滚珠丝杆转动，进而使得滚珠丝杆上的调整件能够沿调整机构的径向方向同步轻触硅片堆以及同步远离硅片堆，使得硅片堆在分离过程中出现单个硅片偏移后，能够对该偏移的硅片进行复位，使得叠放在一起的单个硅片之间，在分离前后都保持上下位置一致。