[发明专利]具有高硬度和高抗氧化性能的CrAlN/AlN纳米多层涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 202010234046.5 | 申请日： | 2020-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN111304612B | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 范其香;梁杨梦甜;林静;王铁钢;王欣;武文轩 | 申请（专利权）人： | 天津职业技术师范大学（中国职业培训指导教师进修中心） |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/32;C23C14/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300222 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有高硬度和高抗氧化性能的CrAlN/AlN纳米多层涂层及其制备方法，属于涂层制备技术领域。采用电弧离子镀和磁控溅射复合技术在金属或硬质合金基体上制备CrAlN/AlN纳米多层涂层。选用纯金属CrAl和Al作为靶材，通过控制CrAl靶电流和Al靶功率，调控涂层CrAlN层和AlN层调制周期。本发明制备的CrAlN/AlN纳米多层涂层组织结构致密，具有很高的硬度和抗高温氧化性能及耐蚀性能，并与基体之间结合良好。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 硬度 氧化 性能 craln aln 纳米 多层 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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