[发明专利]一种高陡度光学镜面误差抛光修正加工方法有效
申请号: | 202010235391.0 | 申请日: | 2020-03-30 |
公开(公告)号: | CN111347294B | 公开(公告)日: | 2021-08-10 |
发明(设计)人: | 焦长君;舒勇;张真;高飞海;陈永超;王波;宫萌 | 申请(专利权)人: | 中科院南京天文仪器有限公司 |
主分类号: | B24B1/00 | 分类号: | B24B1/00;B24B13/00 |
代理公司: | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人: | 李湘群 |
地址: | 210042 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种高陡度光学镜面误差抛光修正加工方法,以CCOS成型原理为基础,将高陡度非球面投影到其最接近平面内,对倾斜去除函数变换处理后得到任意加工位置处的去除函数,然后在高陡度非球面的最接近平面内,将高陡度的修型过程用矩阵乘法模型描述,最后利用解卷积算法,计算出驻留时间后利用速度方式实现加工。本发明考虑磨盘轴向与接触点处工件法向之间夹角变化对去除函数的影响,引入变去除函数的概念,将去除函数和待加工面型投影到待加工面型的最接近平面内,据此建立全局变去除函数的矩阵成型模型,利用驻留时间解算算法求解驻留时间,并以变速度模式实现计算驻留时间,从而实现高陡度非球面的高精度抛光加工。 | ||
搜索关键词: | 一种 陡度 光学 误差 抛光 修正 加工 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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