[发明专利]分光探测器在审
申请号: | 202010235961.6 | 申请日: | 2020-03-30 |
公开(公告)号: | CN111290087A | 公开(公告)日: | 2020-06-16 |
发明(设计)人: | 罗腾;洪小鹏;范杰乔;肖清明 | 申请(专利权)人: | 武汉光谷信息光电子创新中心有限公司;武汉光迅科技股份有限公司 |
主分类号: | G02B6/42 | 分类号: | G02B6/42;H04B10/075;G02B27/10 |
代理公司: | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人: | 王军红;张颖玲 |
地址: | 430074 湖北省武汉市东湖*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本申请实施例提供一种分光探测器,包括输入输出部、分光透镜、探测器芯片以及封管。输入输出部包括输入端和输出端。输入端用于输入光束。分光透镜用于将来自输入端的输入光束分成透射光束和反射光束。输出端用于输出反射光束。探测器芯片用于将透射光束转换成电信号。探测器芯片的表面设置有钝化膜。输入输出部、分光透镜和探测器芯片通过非气密性封装于封管内。输入输出部、分光透镜和探测器芯片通过非气密性封装于封管内,也就是说,探测器芯片不进行封帽保护,如此,可以减小分光探测器的外径,利于分光探测器小型化模块化使用。钝化膜避免探测器芯片受到水汽、离子电荷等的影响,以便探测器芯片获得较高的可靠性和防水性能。 | ||
搜索关键词: | 分光 探测器 | ||
【主权项】:
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